晶盛機電首臺12英寸硬軸直拉爐成功生長出硅單晶
發(fā)布時間：2021-07-23 03:26
7月20日，晶盛機電晶體實驗室自主研發(fā)的國內(nèi)首臺12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆12英寸硅單晶。這是繼2020年8月國內(nèi)首臺8英寸硬軸直拉爐生長出8英寸硅單晶之后，又一次在半導(dǎo)體級硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進展，為國內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級提供了裝備保障。
研發(fā)團隊積極總結(jié)8英寸硬軸爐的研發(fā)試制經(jīng)驗，經(jīng)過近一年的持續(xù)攻關(guān)，在鞏固原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，解決了硬軸單晶爐高真空、高精度及傳動過程震動消除等諸多技術(shù)難題，實現(xiàn)了高穩(wěn)定性晶體生長環(huán)境，為12英寸硅單晶體內(nèi)微缺陷控制和徑向均勻性提高提供了技術(shù)支撐。
晶盛機電依托兩項國家科技重大02專項課題（“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發(fā)”和“8英寸區(qū)熔硅單晶爐國產(chǎn)設(shè)備研制”），15年專注于半導(dǎo)體硅單晶生長裝備研發(fā)，相繼開發(fā)出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導(dǎo)磁場拉晶等多項國際領(lǐng)先技術(shù)。公司不忘“打造半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)，發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)”的使命，在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域持續(xù)攻關(guān)，為核心裝備國產(chǎn)化賦能。
（文章來源：晶盛機電）